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半導体機器のための高速高精度振動モーター
商品の詳細
| モーターの種類 | 振動モーター | ピーク力 | 10N |
|---|---|---|---|
| モデル仕様（書） | VCZA0010-0020-00A | 認証 | ISO9001 |
| 梱包の詳細 | 1.6mA | 定格電圧 | 14.8V |
| 振動振幅 | 0.5mm | 位置決め精度 | ±1 μm |
| 脳卒中 | 5-50mm | 最高速度 | 2m/s |
製品の説明
製品説明:
SUPTMOTION VCAZシリーズボイスコイルアクチュエータは,高精度,高速応答,コンパクトな統合を必要とするアプリケーションのために設計された高性能軸線形モーターです.先進的な電磁駆動技術に基づいてVCAZシリーズは,機械的なトランスミッションコンポーネントなしで,直駆直線運動を提供し,例外的な位置位置精度とスムーズな動力性能を保証します.
高周波応答,高速,小サイズ,長寿命で,VCAZシリーズアクチュエータは,精密自動化システム,レーザー処理機器,半導体製造高速検査プラットフォームです
SUPTMOTION VCAZシリーズ 高精度音声コイルアクチュエータは,超精密な位置付けと高速なダイナミックレスポンスを必要とする先進的な半導体機器のために設計されています.直接駆動軸電磁構造を備えたこのアクチュエータは 動きがスムーズで 高精度で 反発がゼロです
高周波応答,コンパクトなサイズ,長寿命で,VCAZシリーズは,ウェーファー位置付けシステム,半導体検査プラットフォーム,マイクロモーションステージに最適です.
特徴:
超高精度な位置付け
精密な動きのための高いダイナミックレスポンス
コンパクトで軽量デザイン
直接駆動システム
最低限のメンテナンスで長寿命
スムーズで安定した動き制御
クリーンルーム環境に適しています
製品パラメータ:
| モデル番号 | VCAZ0010-0020-00A | |||
| コイルパラメータ | 許容性 | シンボル | 価値 | ユニット |
| DCR | ±10% | R | 9.5 | オー |
| ピーク電圧 | 標準値 | Vp | 14.8 | V |
| 最大電流 | 標準値 | イープ | 1.6 | A について |
| 力の常数 | ±7.5% | KF | 2.7 | N/A |
| バックEMF常数 | 標準値 | KD | 2.7 | V/M/Sec |
| 誘導力 | ±30% | L について | 0.37 | mH |
| アクチュエータパラメータ | シンボル | 価値 | ユニット | |
| ピーク力 | Fp | 4.2 | N | |
| 連続的なストップ力 | Fc | 2.2 | N | |
| アクチュエータ常数 | カ | 0.87 | N/W | |
| 電気時間定数 | について | 0.04 | ミリ秒 | |
| Pmax | Pp | 24 | W | |
| 脳卒中 | S | 1.5 | mm | |
| コイルの両側からのクリアランス | CL | 0.8 | mm | |
| 熱抵抗 | ほか | 20 | °C/W | |
| 容許される最大温度 | Tmax | 150 | °C | |
| コイルの重量 | WTc | 13 | g | |
| マグネット鋼の重量 | WTE | 56 | g | |
| アクチュエータの重量 | WTa | 69 | g | |
応用:
SUPTMOTION VCAZシリーズボイスコイルアクチュエーターは,以下を含む高精度および高速自動化システムで広く使用されています.
レーザー処理装置
レーザー切断頭 Z軸制御
レーザーフォーカスシステム
レーザーマーキングと彫刻装置
半導体製造
ワッファー位置位置付けシステム
精密調整装置
チップ検査・処理システム
オプティカル・フォトニクス・システム
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