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High Speed Brushless Small Linear Servo Motor Precision Motion Stages For Semiconductor Equipment

Vcmボイスコイルモーター
October 29, 2025
Category Connection: 線形サーボ モーター
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Tags:
#高速線形サーボモーター 240N #360N サーボモーター 線形運動 #線形サーボモーター 高速 260N
Brief: Discover the High Speed Brushless Small Linear Servo Motor, designed for precision motion stages in semiconductor equipment. This Permanent Magnet Linear Motor ensures high-speed, smooth motion with direct drive technology, eliminating mechanical play and backlash. Ideal for semiconductor manufacturing, flat panel display testing, and medical equipment.
Related Product Features:
  • ダイレクトドライブシステムは、機械的な遊び、バックラッシュ、摩擦を排除し、よりスムーズな動きを実現します。
  • 最小限のコギング効果により、一貫したスムーズな動きを保証します。
  • 正確な位置決め制御により、オーバーシュートすることなく正確な動きを実現します。
  • High acceleration and deceleration capabilities for rapid speed transitions.
  • スムーズな力生成は、動作中のジャークと振動を低減します。
  • 低いローター慣性は、運動方向と速度の迅速な変化を可能にします。
  • 正確な軌道修正のためのリアルタイムフィードバックによる閉ループ制御。
  • Linear servo control maintains intended path without deviations.
FAQ:
  • このリニアサーボモーターは、どのような産業で役立ちますか？
    このモーターは、半導体製造装置、フラットパネルディスプレイ検査、医療機器、および物流システムに最適です。
  • モーターはどのようにしてスムーズな動きを実現しますか？
    ダイレクトドライブ設計は、ギアなどの機械部品を排除し、摩擦とバックラッシュを低減します。また、コギングを最小限に抑えることで、安定した動きを保証します。
  • このモーターの主要な性能パラメータは何ですか？
    主なパラメータには、ピークフォース（60～240 N）、連続フォース（20～80 N）、および低慣性とクローズドループ制御による急加速が含まれます。
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