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半導体ウェーハ検査装置用高精度ロータリーボイスコイルモーター
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x商品の詳細
| 重さ | 65g | 長さ | 81mm |
|---|---|---|---|
| 電圧 | 8.4V | 製品型式 | VARS0120-020-00A |
| ピーク力 | 1.2Nm | トータルストローク | 20° |
| タイプ | マイクロモーター | ハウジング材質 | アルミニウム |
| モーションタイプ | ロータリー |
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| モデル | 価格 | |
|---|---|---|
| VARS0022-0032-00B | 210ドル | |
| VARS0048-0030-00A | 175ドル | |
| VARS0706-0014-00A | $150 |
製品の説明
製品説明:
高精度真空耐放射線ロータリーボイスコイルモーターは、半導体ウェーハ検査の過酷な環境向けに特別に設計されており、10⁻⁶ Paの真空と強い放射線下で安定して動作できます。このモーターは、ウェーハ表面を汚染しないように、有機揮発物のない特殊な耐放射線絶縁材料と巻線を使用しています。複数の角度での連続回転と正確な角度位置決めをサポートし、検査プローブの向き調整に使用されます。非接触回転構造により、摩耗や粒子発生がなく、半導体業界のクリーンルーム要件を満たしています。トルク出力はスムーズで、位置決め精度は±0.08°に達し、応答速度は速く、ウェーハ欠陥検査、寸法測定、その他の機器に適しており、検査効率とデータ精度を向上させ、半導体製造ラインの自動化アップグレードをサポートします。
特徴:
- 製品名：ロータリーボイスコイルモーター
- 重量：65g
- サイズ：81*73.4*32mm
- 名称：ロータリーボイスコイルモーター
- ストローク：20°
- 寿命：10000時間
- 真空レベル：10⁻⁶ Pa
- 耐放射線：≥10⁵ Gy
- 位置決め精度：±0.08°
- トルク範囲：1.2 N・m
- 回転速度：100-800 r/min
- 保護等級：IP67（真空シール）
- 特殊機能：湾曲ボイスコイルモーター、回転VCM、ロータリーボイスコイルモーター
技術パラメータ:
| パラメータ | 詳細 |
|---|---|
| タイプ | ロータリーボイスコイルモーター（ロータリーVCM、ロータリーボイスコイルアクチュエータ） |
| 保証 | 1年 |
| ストローク | 20° |
| ピークトルク | 1.2N-m |
| ノイズ | 低 |
| サイズ | 81*73.4*32mm |
| 長さ | 81mm |
| 速度 | 高 |
| 重量 | 65g |
| 電圧 | 8.4V |
| 製品モデル | ピークトルク (N-m) |
連続トルク 25℃(N-m) |
全ストローク 度 (度) |
最大電圧 (V) |
逆起電力定数 (V/m/s) |
コイルの重量(g) | 長さ (mm) |
幅 (mm) |
高さ (mm) |
| VARS0008-026-00A | 0.08 | 0.05 | 26 | 6.4 | 0.05 | 11.7 | 35 | 39.8 | 36.1 |
| VARS0017-090-00A | 0.17 | 0.1 | 90 | 11.1 | 0.1 | 17.8 | 70 | 41.5 | 39 |
| VARS0022-032-00A | 0.22 | 0.12 | 32 | 15.5 | 0.16 | 21.5 | 60 | 60 | 36 |
| VARS0042-040-00A | 0.42 | 0.38 | 40 | 3.5 | 0.12 | 38 | 82 | 53.6 | 30.3 |
| VARS0077-020-00A | 0.77 | 0.63 | 20 | 6.7 | 0.24 | 66 | 75 | 50 | 30 |
| VARS0084-030-00A | 0.84 | 0.6 | 30 | 6.3 | 0.2 | 50.4 | 75 | 48.9 | 30.6 |
| VARS0120-020-00A | 1.2 | 0.5 | 20 | 8.4 | 0.67 | 65 | 81 | 73.4 | 32 |
| VARS0350-060-00A | 3.5 | 1.6 | 60 | 26.3 | 0.4 | 350 | ⌀169.6 | ⌀169.6 | 63 |
| VARS0706-014-00A | 7.1 | 2.1 | 14 | 52.4 | 1.03 | 225.5 | 115 | 65 | 54.5 |
| VARS4520-030-00A | 45.2 | 19 | 30 | 71.5 | 4.3 | 1350 | ⌀240 | 78 |
アプリケーション:
ウェーハ欠陥検査およびチップパッケージングプロセスにおいて、±0.1°以内の角度位置決め精度を持つロータリーボイスコイルモーターは、検査プローブを駆動して、ウェーハ表面全体で高周波、小振幅の回転スキャンを実行します。機械的伝達構造のない設計により、バックラッシュエラーが排除され、ミリ秒レベルの応答速度と組み合わせることで、チップ回路の微細な詳細を正確に捉え、ナノメートルレベルの欠陥検出を実現し、半導体製造における歩留まり管理のコアサポートを提供します。
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