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高精度マイクロ回転音声コイルモーター
商品の詳細
| 重さ | 21.5g | 長さ | 60mm |
|---|---|---|---|
| 電圧 | 15.5V | 製品型式 | VARS0022-032-00A |
| プロテクト機能 | 完全に囲まれています | 逆起電力定数(LL)(Kb) | 0.16 |
| 長さ*高さ(mm) | 60*36 | 最高旅行（mm） | 32° |
| タイプ | マイクロモーター | 定格速度 | 100rpm |
| ハイライト | 高精度回転音声コイルモーター,マイクロ回転音声コイルモーター,ワッファーアライナメントボイスコイルモーター |
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| モデル | 価格 | |
|---|---|---|
| VARS0022-0032-00B | 105ドル | |
| VARS0048-0030-00A | 230ドル | |
| VARS0706-0014-00A | 115ドル |
製品の説明
製品説明:
高精度直送電源部品として,回転音声コイルモーターは,ウエファーアライナインメントと位置付けプロセス中にウエファーアングルの校正において重要な役割を果たします.±0 の基本的な利点のおかげで.01°回転重複性,ミリ秒レベルの応答速度,歯車のない動作,低着用.半導体リトグラフィやエッチングなどの事前処理段階では,ワッフルの角度偏差が次のプロセスの精度に直接影響する回転音声コイルモーターは,視力位置位置位置システムからのフィードバックに基づいて,細角回転調整を行うために,迅速にウェーファーステージを動かすことができます.応答時間が10ms未満石版マスクとエッチング経路とワッフルの正確な調整を保証します.これは±0.1°内の繰り返しの精度を提供します.超薄型と不規則な形状のウエフルの高精度アライナメント要件を完全に満たすさらに,そのコンパクトな構造設計は,限られたデバイス空間への統合を可能にし,ウェーファー調整プラットフォームの統合設計要件に適合します.
特徴:
- 製品名:ローータリー・ボイスコイルモーター,ローータリー・ダイレクトドライブVCM,スイング・ボイスコイルモーター,アーク・ボイスコイルモーター
- 体重: 21.5g
- モデル番号:VARS0022-032-00A
- 名称:回転音声コイルモーター
- ストローク: 32°
技術パラメータ:
| パラメータ | 詳細 |
|---|---|
| タイプ | ロータリー・ボイス・コイルモーター (ロータリー・VCM,ロータリー・ボイス・コイル・アクチュエーター) |
| 保証 | 1 年 |
| 脳卒中 | 32° |
| ピークトルク | 0.22 N-m |
| 騒音 | 低い |
| 長さ | 60mm |
| スピード | 高い |
| 体重 | 21.5g |
| 電圧 | 15.5V |
| 製品モデル | ピークトルク (N-m) |
連続トルク 25°C (N-m) で |
合計 ストローク 度数 (学位) |
最大電圧 (V) |
バックEMF常数 (V/m/s) |
コイルの重量 (g) | 長さ (mm) |
幅 (mm) |
高さ (mm) |
| VARS0008-026-00A | 0.08 | 0.05 | 26 | 6.4 | 0.05 | 11.7 | 35 | 39.8 | 36.1 |
| VARS0017-090-00A | 0.17 | 0.1 | 90 | 11.1 | 0.1 | 17.8 | 70 | 41.5 | 39 |
| VARS0022-032-00A | 0.22 | 0.12 | 32 | 15.5 | 0.16 | 21.5 | 60 | 60 | 36 |
| VARS0042-040-00A | 0.42 | 0.38 | 40 | 3.5 | 0.12 | 38 | 82 | 53.6 | 30.3 |
| VARS0077-020-00A | 0.77 | 0.63 | 20 | 6.7 | 0.24 | 66 | 75 | 50 | 30 |
| VARS0084-030-00A | 0.84 | 0.6 | 30 | 6.3 | 0.2 | 50.4 | 75 | 48.9 | 30.6 |
| VARS0120-020-00A | 1.2 | 0.5 | 20 | 8.4 | 0.67 | 65 | 81 | 73.4 | 32 |
| VARS0350-060-00A | 3.5 | 1.6 | 60 | 26.3 | 0.4 | 350 | ¥1696 | ¥1696 | 63 |
| VARS0706-014-00A | 7.1 | 2.1 | 14 | 52.4 | 1.03 | 225.5 | 115 | 65 | 54.5 |
| VARS4520-030-00A | 45.2 | 19 | 30 | 71.5 | 4.3 | 1350 | ¥240 | 78 |
応用:
音声コイルモーターの主な用途:
1半導体産業:配線,切断,掘削,輸送システム,溶接,ロボット工学
2バルブ操作の分野:型式計量バルブ,圧力試験システム,気圧バルブ化学
インジェクションシステム
3マイクロ機械産業:フードシステム,マイクロドリリング,精密スタンプリング
4振動システム 振動テーブル 振動プラットフォーム
5医療分野:マイクロインジェクションシステム,呼吸器,検査機器
6航空技術:飛行制御システム パイロットフィードバックシステム
7商業用分野:コンピュータ冷却ポンプ小型カメラ自動フォーカスシステム.
8自動化産業:レーザー機器,配送機,試験機器,繊維機械.
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