半導体産業 高精度マイクロ線形音声コイルアクチュエータを達成

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x製品モデル | VCAP0020-0068-00A | 連続力 | 5.3N |
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体重 | ライト | 使用 | ボート,顕微鏡,ロボット,医療用換気機,光学プロジェクト,レーザー機器 |
建設業 | 永久磁石 | 保護する機能 | 完全に閉ざされた |
最高旅行(mm) | 6.8 | 最大電圧 (V) | 8.2 |
ピークフォース | 20N | 長さ | 39mm |
タイプ | マイクロモーター | ||
ハイライト | マイクロ線形音声コイルアクチュエーター,高精度線形音声コイルアクチュエーター,半導体線形音声コイルアクチュエーター |
製品説明:
VCAPシリーズの平面アクチュエータは,長さごとに直角よりも低いストローク長さを持っています.しかし,彼らはまた,より低い高度プロフィールを持っています.VCAPシリーズ平面アクチュエータは,非常に小さなストローク X-Y軸の動きのための理想的なソリューションであり,その主要市場は半導体およびマイクロ機械ツール産業にあります.
半導体産業では,線形音声コイルモーターは以下の用途に使用される.
ディスペンサー:半導体包装プロセスでは,ディスペンサーは,配送された粘着剤の位置と量を正確に制御する必要があります.音声コイルモーターは,高精度な配送操作を達成し,半導体チップのパッケージング品質を確保するために,配送ヘッドの動きを正確に制御することができます.
鉛結合機械:チップ上のピンとパッケージ基板のピンをつなぐために使用される.位置付け精度と動作速度の要求は非常に高い.音声コイルモーターは,鉛結合の品質と効率を確保するために,迅速かつ正確な運動制御を提供することができます.
PCB 掘削機械: 印刷回路板の製造過程では,掘削作業が必要です.音声コイルモーターは,高精度な掘削を達成し,PCB処理精度と品質を改善するために,掘削頭の動きを制御することができます.
フォトリトグラフィー: フォトリトグラフィーは半導体製造のコア機器の1つであり,運動制御には非常に高い精度と速度が必要です.音声コイルモーターは,リトグラフィーの精度と効率を確保するために,マスクテーブルとウェーファーテーブルの動きを制御するためにリトグラフィーのマシンで使用されます..
ワイファーピックと位置: 半導体ワイファーの製造プロセスでは,ワイファーをピックと位置付けすることが必要です.音声コイルモーターは,安全で正確なピークとウェファーの位置を確保し,生産効率を改善するために正確な運動制御を提供することができます.
特徴:
アクチュエータコイルは軽量で 応答時間が短く 周波数が高い
短いストローク,コンパクトな構造.
1mmから20mm
最大推力 1N-300N
製品パラメータ:
製品モデル | ピークフォース (N) |
継続 的 な 力 25°C (北) |
合計 ストローク (mm) |
最大電圧 (V) |
バックEMF常数 (V/m/s) |
長さ (mm) |
幅 (mm) |
高さ (mm) |
VCAP0020-0068-00A | 20 | 5.5 | 6.8 | 8.2 | 4.4 | 39 | 50 | 21.5 |
VCAP0020-0160-00A | 20 | 5.3 | 16 | 27.6 | 4.4 | 59 | 50 | 22.5 |
VCAP0030-0200-00A | 30 | 12.3 | 20 | 24.3 | 10.5 | 80 | 74 | 25 |
VCAP0100-0020-00A | 100 | 47 | 4 | 41.2 | 80.1 | 110 | 105 | 51 |
製品用途:
音声コイルモーターの主な用途: |
1半導体産業:配線,切断,掘削,輸送システム,溶接,ロボット工学 |
2フィールドでのバルブ操作:型式計量バルブ,圧力試験システム,気圧バルブ化学注入システム. |
3マイクロ機械産業:フードシステム,マイクロドリリング,精密スタンプリング |
4振動システム 振動テーブル 振動プラットフォーム |
5医療分野:マイクロインジェクションシステム,呼吸器,検査機器 |
6航空技術:飛行制御システム パイロットフィードバックシステム |
7商業用分野:コンピュータ冷却ポンプ ミニチュアカメラ オート フォーカスシステム |
8自動化産業:レーザー機器,配送機,試験機器,繊維機械. |