半導体レーザー切削のための高精度マイクロフラット線形音声コイルモーター

製品説明:

VCAPシリーズの平面線形音声コイルモーターと直角線形音声コイルモーターは,同じ容量に対して比較的短い移動距離を持っています.しかし,フラット線形音声コイルモーターは,より低い高さの利点があります500Nまでの力範囲と最大15mmの衝撃力を持つVCAPシリーズのフラット線形音声コイルモーターは,x-y軸移動に理想的です半導体産業とミニチュア機械工業における主要市場.

フラットボイスコイルモーターは,ローレンツ力原理に基づいた線形駆動です.電流が磁場に埋め込まれたコイルを通過すると,コイルは線形運動を達成するために押されます.狭いレーザー切断頭や高精度ステージに組み込むのに適しています.
半導体レーザー切削における平面線形音声コイルモーターの適用は,主に高精度位置付け,高応答速度,摩擦のない転送の側面にあります.ナノメートルレベルで動的性能と信頼性に関する現代マイクロ電子製造の非常に高い要求を満たす.
現在,レーザー切削はチップ製造におけるウエファー切削に使用される主要なプロセスであり,非常に高い位置位置精度 (マイクロまたはナノメートルレベル) が求められます
非常に高い位置付け精度 (マイクロンまたはナノメートルスケール),高速応答のサーボ制御システム,スムーズで振動のない運動経路,制御された加速/減速でチップを損傷しないように.

特徴:

タイプ:フラットボイスコイルモーター,フラット線形ボイスコイルモーター,フラット線形モーションモーター,XY軸モーションアクチュエーター,フラット線形ボイスコイルモーター

フラット線形音声コイル モーター化されたサブコイルは軽量で,反応が速く,応答時間が短く,周波数が高く,ストロークが短く,コンパクトで,高度な精度の動的位置付けです.
1mmから20mm
最大推力 1N-300N
一般的に x-y軸の動き段階に使用される.

製品パラメータ:

応用:

半導体およびミニチュア機械工業で広く使用されています.
モジュール式設計で,カスタマイズできます.

平面線形音声コイルモーターの主な用途:
1半導体産業:配線,切断,掘削,輸送システム,溶接,ロボット工学
2マイクロ機械産業:給餌システム,マイクロドリリング,精密スタンプ
3振動システム:振動テーブル,振動プラットフォーム
4自動化産業:レーザー機器,配送業者,試験機器,繊維機械

使用:BOAT,UAV,3Dプリント,顕微鏡,ロボット,医療換気機,光学プロジェクト