高周波ミニチュア超薄線形モーター
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x| 保証 | 3ヶ月から1年 | 使用法 | ボート、車、電気自転車、UAVのロボット、医学の換気装置、顕微鏡、内視鏡、光学、光学レンズ |
|---|---|---|---|
| タイプ | マイクロモーター | トルク | 要求事項 |
| 工事 | 永久磁石 | 機能を保護します | 完全に囲まれています |
| 速度(rpm) | 高速 | 連続電流 (A) | 現在 |
| 効率 | IE 1 | 製品名 | 線形アクチュエーター |
| アプリケーション | 自動プロダクト | モーターの種類 | 永久的なモーター |
| キーワード | 小さいリニア モーター | 名前 | Aシリーズモーター |
| 定格電圧 | 1.2-12V | サイズ | 30mm |
| 色 | 銀 | アイテム | 小型電動機 |
| パッキング | カートン | ポート | 上海港 |
| ハイライト | 高周波の線形サーボモーター,超薄質のウエファー制御モーター,微型線形モーター |
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製品の説明:
リニアモーターの可動子は、磁石を使用せずコイルのみで構成されており、可動部と固定部の間の磁気的な引力を排除しています。この設計により、コギング効果を防止し、スムーズな動作を保証します。軽量構造により、高速かつ高加速度の性能を実現します。推力特性は滑らかで、リニアエンコーダと組み合わせることで高精度を実現します。ストロークは任意に延長でき、静かでメンテナンスフリーで動作します。高温高圧で輸入エポキシ樹脂を真空充填し、高柔軟性の電源ケーブルを備えています。半導体製造装置、フラットパネルディスプレイ業界向けの精密試験装置、レーザー切断/マーキング機、マシンビジョン検査システムなどに広く適用されています。モジュール設計により、カスタム加工が可能です。
リニアモーター技術は、半導体製造装置を進化させる中核的な推進力であり、精密なウェーハ位置決めと高速動作を実現するための不可欠な直接駆動装置として機能します。
高精度、高速、加速度、スムーズな動作特性を活かし、リニアモーターはウェーハ搬送システム内のカセットからの精密なウェーハ取り出し、処理ステーションへの高精度な配置、および処理後のウェーハのカセットへの迅速な復帰を可能にします。
精密位置決めプラットフォーム内では、リニアモーターがウェーハを支持し、精密に位置決めします。ウェーハキャリアは、露光を完了するために、XY平面内でナノメートルレベルのステップおよびスキャン動作を実行する必要があります。顕微鏡や欠陥検出装置では、ウェーハも検査プローブの下で正確に移動させる必要があります。
製品パラメータ:
| リニア モーター 性能 パラメータ | |||||||
| A シリーズ--MLCA(ダイナミック) MLFA(ステーター) | |||||||
| モデル/Par | MLCA-0020-075-00 | MLCA-0040-135-00 | MLCA-0080-255-00 | ||||
| ピーク フォース(Fp) | N | 60 | 120 | 240 | |||
| ピーク 電流(lp) | アンペア | 4.8 | 4.2 | 4.2 | |||
| 連続 フォース(Fc) | N | 20 | 40 | 80 | |||
| 連続 電流(lc) | アンペア | 1.6 | 1.4 | 1.4 | |||
| アクチュエータ 定数(DC モーター 変換/3p)(Ka) | N/W | 5.65 | 7.9 | 11.2 | |||
| 定数 推力(L-L)(Kf) | N/アンペア | 15.3 | 30.4 | 60.3 | |||
| 逆 起電力 定数(L-L)(Kb) | V/m/秒 | 8.8 | 17.6 | 34.8 | |||
| 電気 定数(Te) | ms | 0.3 | 0.3 | 0.3 | |||
| 抵抗(L-L)(R) | @25℃Ω | 4.8 | 9.4 | 19.2 | |||
| インダクタンス(L-L)(l) | mh | 1.51 | 3 | 6 | |||
| 熱 伝達 係数(Rth) | ℃/W | *3.9 | *1.9 | **1.3 | |||
| コイル 最大 温度(Tmax) | ℃ | 120 | 120 | 120 | |||
| 磁石 ポール ピッチ(2T) | mm | 30 | 30 | 30 | |||
| ムーバー 重量 | Kg | 0.24 | 0.42 | 0.82 | |||
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従来の回転モーターと比較したリニアモーター:
| 特性 | リニアモーター | 従来の伝達方法(スクリュー/ベルト) | ||||
| 高精度 | 中間伝達部品のない直接駆動により、バックラッシュとバックラッシュエラーが排除され、ナノメートルレベルの位置決め精度を実現します。 | バックラッシュ、弾性変形、摩擦が存在し、精度は通常マイクロメートルレベルに制限されます。 | ||||
| 高速と 加速度 |
毎秒数メートルに達し、10Gを超える加速度を実現し、機器のスループットを大幅に向上させます。 スクリューの回転速度と慣性によって制限され、速度と加速度が低下します。 高滑らかさ 非接触伝達と最小限の振動によるスムーズな動作。リソグラフィなどの振動に敏感なプロセスに不可欠です。 伝達チェーン内の接触摩擦は、振動とノイズを発生させる可能性があります。 |
高クリーン度 | ||||
| 潤滑不要の動作により、グリースや摩耗粒子が排除され、半導体製造の超高クリーン度要件を満たしています。 | 潤滑が必要であり、汚染のリスクがあります。 高信頼性 および長寿命 一次部品と可動部品(磁気トラックとコイル)は機械的に接触せず、摩耗が最小限に抑えられ、寿命が長くなります。 複数の機械的接触点は摩耗の影響を受け、定期的なメンテナンスが必要です。 |
真空互換性 真空互換モデル向けに簡単に設計でき、真空プロセス装置に最適です。 |
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| 潤滑と放熱は、真空環境で大きな課題となります。 | ||||||

