すべての製品
Customised VCAP Planar Voice Coil Actuator XY Module for Wafer Probe Stations
商品の詳細
| 構成 | 2 つの直交する平面ボイス コイル アクチュエーター | 軸ごとの最大推力 | 20N~100N |
|---|---|---|---|
| 軸ごとの移動量 | 1mm~15mm | ガイドタイプ | クロスローラーガイドまたはフレキシャ |
| エンコーダー解像度 | 1μmまたは0.1μm | 真直度 | 全移動量で 2 um 以内 |
| 再現性 | 0.5 um (0.1 um エンコーダ付き) | ケーブル管理 | 内部ハイフレックス配線 |
| カスタマイズ | 推力、移動量、包絡線、取り付け | 代表的な用途 | ウェーハプロービング、光学検査 |
| ハイライト | Custom Planar Voice Coil Actuator Module,High Precision XY Stage Actuator,Compact Structure Short Travel XY Module |
||
製品の説明
Product Overview The VCAP-XY module is a dual-axis planar actuator module comprising a pair of flat voice-coil drivers mounted vertically on a common base, with cross-roller guides and linear encoders integrated as standard. This product is offered as a customisable platform: peak thrust ranges from 20 N to 100 N per axis, with stroke ranges from 1 mm to 20 mm per axis. Rather than having to purchase two actuators and design a mechanical structure around them, customers
推薦されたプロダクト

