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16mm Stroke Compact Planar Voice Coil Actuator for Wafer Transport Pick Heads
商品の詳細
| モデル | VCAP0020-0160-00A | 軸の役割 | ピックヘッドまたはトランスファー Z 軸 |
|---|---|---|---|
| ピーク力 | 20 N | 25℃での継続的な力 | 5.3N |
| トータルストローク | 16mm | 最大電圧 | 27.6 V |
| バックEMFコンスタンット | 4.4V/m/s | 本体サイズ | 59×50×22.5mm |
| 着陸制御 | プログラム可能な接触力 | 空気供給 | 不要 |
| 代表的な用途 | EFEM、ウェーハソーター、ロードロック | ||
| ハイライト | Wafer Transport Pick Head Actuator,Soft Landing 16mm Transfer Actuator,Compact Structure Load Port Actuator |
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製品の説明
Product Overview Flat-type linear voice-coil motor stator coils are lightweight, with fast response times and high frequency. They feature a short stroke and a compact design.The VCAP0020-0160-00A drives the vertical axis of wafer and carrier transport heads: the pick arm of an EFEM, the lift pin of a load lock, the Z axis of a sorter or the descend axis of an AOI handler. It offers 20 N peak force, 5.3 N continuous force at 25°C and a 16 mm stroke in a 59 × 50 × 22.5 mm body
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