半導体における操作のための高加速VCM円筒型音声コイルモーター

VCM 円筒型音声コイルモーター ブラシレス ミニチュア線形モーター 高精度 高加速

製品説明:

VCM (Voice Coil Motor) の円筒形設計は,基本部品を収納する管状構造を備えています.コイルと永久磁石から構成されています.両方がモーターの中枢軸に沿って並べられているローリングは通常空っぽの円筒周りに巻き込まれ,永久磁石はローリングを囲みます.

半導体アプリケーションでは,VCM円筒形音声コイルモーターは,精密な位置付けと操作に役割を果たします. プロセスは次のように展開します:

1構造概要:
コイル:コイルはVCMの不可欠な部品である.複数のワイヤの巻き込みからでき,通常はシリンダーの空心の中心に配置される.
永久磁石: 永久磁石 は,コイル を 囲む.その 磁場 は,コイル を 通過 する 電流 と 相互作用 し,動き に 必要 な 力 を 生み出す.
コア:いくつかのデザインには,磁場の強さを向上させ効率を向上させるためにコイル内に磁気コアが含まれています.
円筒型ハウジング:円筒型ハウジングはコイル,磁石,コアを固定し,構造の整合性を確保します.

2半導体アプリケーションでの操作:
ワイファー処理:半導体製造では,ワイファーは様々なプロセスで正確に配置する必要があります.VCMシリンダ式モーターは,正確なアライナメントを達成するために,ウェーファーハンドリングシステムに統合されています.
アライナメント:特定のプロセスのためにウエファを配置する必要があるとき,制御システムはVCMに信号を送信します.電流がコイルを通って流れ,磁場を生成します.この磁場 と 永久磁石 の 間 の 相互作用 に よっ て,コイル と 付着 し て いる 負荷 (ウエファー) を 求め られ た 位置 に 移動 する 力 が 生じ ます.
フィードバック制御:正確性を確保するために,VCMの動きはフィードバックシステムによって監視されます.センサーはモーターの位置を測定し,この情報を制御システムに提供します.目標位置からの偏差が検出された場合コイルを通る電流を調整して位置を調整します
高精度: VCMシリンダ式モーターは,直接駆動メカニズムにより高精度を提供します.ギアまたはベルトがないため,反発と機械的なプレーを最小限に抑えます.正確な位置付けを可能にします.

半導体アプリケーションでは,半導体製造プロセスの厳格な要件を達成するために,VCM円筒型音声コイルモーターの精度と応答性が重要です.ワッフルの正確な操作を可能にします半導体装置の一貫した高品質の生産を保証する.

特徴:

• 電圧制御モーター
• 線形アクチュエータモーター
• 線形運動モーター
• DC電圧
• 小ささ
• ショートストローク
• 長寿
• 軽量

技術パラメータ:

応用:

このモーターは主に医療用半導体航空に使用されます
バルブブレーキを含む自動車およびその他の分野,小型精密測定器の振動プラットフォームとアクティブ振動抑制システム,および他の多くの側面.
この市場は主に医療半導体,航空,自動化産業に重点を置いています.

VCARシリーズアクチュエータのアプリケーションには,バルブアクチュエータ,Z軸ピック&プレイス,小型の正確な正位移動計量ポンプ,振動器およびアクティブ振動抑制システムが含まれます.医療用半導体の市場も含まれますこの線形アクチュエータモーターは電圧制御で DC電圧源を供給します